英诺激光：公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器
2023-06-01 17:55:46
(资料图)
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：贵公司是否，在极紫外线光有前瞻性研究？半导体前序工艺中，是否在激光刻蚀光源方面有技术储备呢？
英诺激光（301021.SZ）6月1日在投资者互动平台表示，公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器，亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器，客户以国外知名半导体装备公司为主。
（文章来源：每日经济新闻）
